半导体材料
GDMS仪器具有对不同形态的材料分析能力。可以分析任何形态的样品 （块材，薄片，颗粒，粉末等），这对于高性能材料加工 的行业，在同样的分析基础上，为材料在加工前后提供更客观的分析数据，优化生产工艺。
GDMS常规检测限 Si片/Si块
GDMS常规检测限 Si颗粒/Si粉（使用辅助电极）
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